本系列真空光纤馈通法兰提供CF、KF、ISO等标准接口或定制选项，适用于10⁻⁵Pa及以下超高真空环境。产品采用胶粘剂密封工艺，光纤无断点，可保证最优光传输性能，支持单模、多模、保偏光纤及单通或多通组件定制。其气密封性优异，气体泄漏率≤1×10⁻¹¹ Pa·m³/s，工作温度范围-40℃至+80℃，腔内材料与光纤护套（不锈钢304/PTFE）均满足真空适用性要求。主要应用于半导体、生物医药、光通讯等领域中的真空环境光信号传输。

本系列无尘POD拖链采用耐磨表皮，可实现千万次往复运动，并达到百级无尘效果，有效保护电缆、减少掉粉。产品提供多种扁平电缆规格选项，涵盖带屏蔽的电源电缆（如4xAWG18、8xAWG21）和信号电缆（如4对/6对双绞线），电压等级覆盖150Vrms至20Kvrms。主要应用于激光设备、新能源电池检测、半导体后段芯片检测、液晶面板设备及机器人等对洁净度和运动寿命要求严苛的场景。支持POD宽度定制，可满足不同布线需求。

本系列一体化排线（无尘拖链）专为高洁净度需求设计，具备超高折弯寿命、极小的折弯半径和高集成度。产品在运动中无颗粒产生，可选多种线缆组合，满足复杂布线需求，且无起订量限制。主要应用于半导体前道晶圆检测设备、真空环境检查设备、高精度视觉检测及医疗设备等对洁净度和可靠性要求严苛的场景。

ESCC系列静电吸盘控制器是面向半导体晶圆、面板及光伏精密制程的双极电源设备。产品提供ESCC 510（AC输入，带穿刺电压）和ESCC 620（DC输入，更高精度）两种型号，具备毫秒级吸附响应速度、高精度电压输出（最高±2000V，精度<0.5%F.S.）及实时监测电压/电流/电容等功能。支持通过RS-485与上位机通讯，可灵活配置吸附/脱吸波形，并可选配晶圆状态监测、内部环境温度检测等模块，主要应用于半导体晶圆加工、精密制造及科研实验中的快速定位与释放场景。

本系列静电吸盘(E-Chuck)提供库伦型和梯度力两种原理，支持双电极、多电极、叉指电极等设计，适用于10⁻⁵Pa及以下超高真空和无磁环境。产品提供6英寸、8英寸、12英寸标准规格，全局平面度≤3μm，平行度＜30μm，标准吸附电压1000V，漏电流＜5nA。库伦型吸附力最高可达30N（12英寸），可稳定吸附晶圆、蓝宝石、玻璃等介电材料。主要应用于晶圆量测（EBI、CD-SEM、Review-SEM）、薄膜沉积（CVD、PVD）及晶圆制造等半导体工艺。支持电极数量、平面度、外形尺寸等定制化设计。

本系列真空吸盘采用无压烧结碳化硅、氮化铝等与硅热膨胀系数相近的材料，具备高导热性、低膨胀系数和高刚度。产品经轻量化设计，拥有良好平面度、高纯度和均匀晶粒，能有效减少颗粒污染，耐化学清洗，适用于半导体量检测设备、键合设备及晶圆制造等场景。可根据用户需求进行结构定制，以满足不同工艺要求。

该动铁直线电机模组采用扁平化、动磁铁式结构，运动中完全消除线缆力干扰。产品集成无铁芯直线电机直驱与高精度光学编码器（分辨率0.1μm），实现无齿槽力、高推力密度和低发热的优异性能。提供MIL12-50（±25mm行程）和MIL25-40（±40mm行程）两种型号，校准后精度达±2μm，单向重复精度±1μm，最大速度500mm/s。主要应用于医疗领域、半导体设备和汽车行业中对空间紧凑、动态响应要求严苛的精密运动控制场景。支持模块化定制加工。

该阵列式高精度二维拾取模组采用扁平化、动磁铁式结构设计，运动中完全消除线缆力干扰。产品集成无铁芯直线电机直驱、磁力弹簧重力补偿与高精度光学编码器（分辨率0.1μm），实现X轴（±27mm）和Z轴（±19mm）的精密运动。其校准后精度达±2μm，单向重复精度±1μm，X轴连续推力15N。主要应用于医疗领域、半导体设备和汽车行业中对动态响应和空间紧凑性要求严苛的精密拾取与定位场景。支持模块化定制加工。