静电吸盘控制器是双极电源，是面向半导体晶圆，面板，光伏等精密制程打造的核心电源控制设备。
该产品支持高精度电压调节，实时监测电压、电流以及电容等关键参数。毫秒级吸附响应速度，确保晶圆在制造、刻蚀、镀膜以及检测等制程设备中的快速定位和释放。
控制器预留有接口可以实现与上位机通讯，通过上位机下发指令对控制器的功能进行控制，同时可以监测控制器的运行状态。
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ESCC 510 |
ESCC 620 | ||
| 输入电压 | 100~264 V AC/47~63Hz | 24 V DC | |
| 输入电流 | 0.2 A | 2 A | |
| 输出吸附电压 | A: 0~±500 V | A: 0~±2000 V | |
| B: 0~±500 V（Phase B =[-1] x Phase A) | B: 0~±2000 V（Phase B =[-1] x Phase A) | ||
| 输出吸附电压精度 | ＜2%F.S. | ＜0.5%F.S. | |
| 输出穿刺电压 | 1000~4000 V | N.A. | |
| 输出穿刺电压精度 | ＜5%FS | N.A. | |
| 工作电流 | 0 ~±15 mA DC | 0 ~±7.5 mA DC | |
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峰值电流 |
20 mA | 10 mA | |
| 通信接口 | RS-485 | RS-485 | |
| 通信协议 | Modbus (RTU) | Modbus (RTU/ASCII)/可定制 | |
| 远程控制接口 | N.A. | DB15 | |
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环境 |
运行/Operating：0 ℃~45 ℃；25~60% HR | ||
| 存储/Storage：-35 ℃~85 ℃；25~60% HR | |||
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外观尺寸 |
482.6 mm×88.1 mm×361.8 mm（W×H×D) | ||
