膜厚测量运动系统 紧凑型磁浮平台 晶圆检测专用
针对晶圆膜厚测量（含四探针法、椭圆偏振法）对运动平台的高精度与紧凑性需求，隐冠半导体提供集成式或独立式运动系统解决方案。采用双轴耦合设计与大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机载荷，提升运动性能与寿命。平台结构紧凑，可配套驱控系统与减振系统，支持高吞吐量量测。推荐搭配PS150极坐标位移台（X/Z/T三轴，Z轴双向重复精度±0.2μm/1mm，T轴±2arcsec），适用于透明/不透明薄膜的应力、折射率及厚度测量场景。
膜厚测量、椭圆偏振、磁浮重力补偿、晶圆检测、精密运动平台
