平面式精密堆叠位移台，具有超薄的轮廓尺寸，满足单轴、多轴使用情况，实现高精度、高刚度水平直线运动。
|
|
MTS80-25 |
MTS80-50 |
|
行程 |
±25mm |
±50mm |
|
最大速度（空载） |
0.5m/s |
0.5m/s |
|
加速度（空载） |
0.5g |
0.5g |
|
双向重复定位精度 |
±0.3µm |
±0.3µm |
|
精度（校准后） |
±0.5µm |
±0.5µm |
|
直线度 |
±1µm |
±1µm |
|
平面度 |
±1µm |
±1µm |
|
俯仰 |
75µrad |
75µrad |
|
偏摆 |
50µrad |
50µrad |
|
最大负载 |
4kg |
6kg |
|
峰值推力 |
23.8N |
35.7N |
|
持续推力 |
6.0N |
8.9N |
|
动子质量 |
0.71kg |
1.08kg |
|
总质量 |
1.49kg |
2.35kg |
|
外观尺寸 |
140mmX95mmX33mm |
210mmX95mmX33mm |
