入选国内头部半导体装备商供应链
国家级"专精特新”重点小巨人隐冠半导体
将展示磁浮平台
展位号：E6-6824
隐冠半导体在混合键合精密运动平台板块成功进入国内头部半导体装备商，技术实力获行业头部客户认可。
隐冠半导体
隐冠半导体成立于2019年，是一家专注半导体装备及高端装备精密运动系统及核心零部件研发与生产的高科技创新型企业。公司已荣获国家级“专精特新”重点小巨人企业称号，集团拥有有效专利数量超过270件。
从核心零部件研发到精密运动系统集成，掌握核心技术自主权，提供优越、可靠的解决方案。
隐冠利用精密运动控制与检测领域的技术优势，持之以恒研发新技术。公司现已构建起“压电驱动+磁悬浮技术+真空级系统集成”的三大核心技术支柱， 形成多品种多系列的量产精品，着力解决半导体装备关键核心部件的产业化问题。
全面覆盖半导体制造全工艺流程：
玉衡系列
半导体-先进封装
主攻混合键合运动平台，已成功导入北方华创供应链。
开阳系列
半导体-先进封装
覆盖TGV、减薄机等关键工序设备。
重点产品推介
磁浮平台：无摩擦驱动
针对半导体前道工艺中极为苛刻的真空与磁敏感环境，利用磁力实现无接触、无摩擦驱动，解决微粒污染问题。独特磁屏蔽设计，实现nT级的漏磁控制，胜任电子束检测等高端设备“心脏”任务。
精密运动台：高速高精
集成压电与电磁直驱技术，实现“纳米级定位、闪电般移动”的完美结合。独特磁浮重力补偿技术，补偿重力，减少发热；主动减振技术，有效抑制高速运动引起的振动与误差，确保极高的动态稳定性与定位精度。
生产总面积2万平方米 | 洁净间6000平方米
≈500套
精密运动系统/年
≈8000套
特种电机/年
≈1万支
压电致动器/年
≈100块
静电吸盘/年
隐冠服务
配置型解决方案· 精准适配
01
根据晶圆尺寸（8寸/12寸）灵活调整平台；选用碳纤维/陶瓷材料；提供气浮、磁浮、机械等多种导轨选择。
8/12寸晶圆
轻量化设计
多种导轨
覆盖纳米级（±10nm）至亚微米级定位精度；针对检测/扫描场景优化速度；支持单轴至六自由度多轴平台配置。
纳米级精度
速度优化
6-DOF配置
符合SEMI标准无尘润滑；真空腔体定制无出气材料与电机；集成主动隔振与热补偿设计，确保极端环境稳定性。
SEMI标准
真空兼容
主动隔振
可选配高分辨率光栅尺/激光干涉仪；集成立控与光学传感器；兼容EtherCAT等主流总线协议。
光栅尺/干涉仪
原位测量
主流总线
增加自动标定、自诊断等智能化功能；全国8个技术服务站组成"急救网络"，24小时响应产线需求。
智能诊断
全国8站
24h响应
从底层结构到系统集成的全方位配置型解决方案，为您提供最适配的解决方案
技术
自主
快速
响应
模块化
配置
“隐冠半导体，历经特种工况的严苛磨砺，成就您的高精装备，只为做到
——更精密，更稳定。”
上海市浦东新区金海路1000号金领之都47号
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