微步电机陶瓷模组由多层压电陶瓷层(通过机械方式串联)以交错电极(电极间相互平行)的方式组成,其中包括了一定数量的压电陶瓷厚度片与压电陶瓷剪切片,能够在两轴输出位移。其通过厚度片抬高、剪切片前进,类似尺蠖昆虫的爬行方式来实现长行程。

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PANL-R001-14-16H4Q |
PANL-S06-22-5H7Q |
PANL-S06-22-7H5Q |
PANL-S06-22-12Q |
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运动轴 |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
Z/X |
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元件高度一致性 |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
≤0.03mm |
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元件上顶面共面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件下底面平面度 |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
≤5μm |
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元件上顶面与下底面平行度 |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
≤10μm |
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剪切压电陶瓷驱动电压 |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
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纵向压电陶瓷驱动电压 |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
-250V~+250V |
- |
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剪切压电陶瓷位移(Y 向位移) |
≥±2μm@±250V |
≥±7μm@±250V |
≥±5μm@±250V |
≥±12μm@±250V |
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纵向压电陶瓷位移(Z 向位移) |
≥3μm@500Vp-p(±250V) |
≥0.9μm@500Vp-p(±250V) |
≥1.5μm@500Vp-p(±250V) |
- |
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剪切压电陶瓷最大输出力 |
≥±100N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
≥±50N@±250V |
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纵向压电陶瓷最大输出力 |
≥2000N@+250V |
≥700N@+250V |
≥1000N@+250V |
- |
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单个压电陶瓷腿纵向机械刚度 |
≥500N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
≥250N/μm |
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剪切压电陶瓷电容 |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤45nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz |
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纵向压电陶瓷电容 |
≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz |
≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz |
- |
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剪切压电陶瓷迟滞非线性 @500Vp-p |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
≤40% |
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工作温度 |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
-25°C ~ 130°C |
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居里温度 |
280°C |
280°C |
280°C |
280°C |
| 外形尺寸 | ||||
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L |
33mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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W |
10mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
13mm±0.1mm |
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H |
15mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
8.7mm±0.005mm |
*位移测试:驱动电压 -250~250V、公差±15%;
** 外形尺寸:标注尺寸为单侧陶瓷模组尺寸,不包括线路板;
*** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±15%。
