上海隐冠半导体技术有限公司

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压电惯性电机
PMIN-C24X系列惯性电机
主要特点

  • 高速位移
  • 高分辨率
  • 体积小巧
  • 应用高真空环境

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主要应用
  • 光学平台
  • 精密半导体设备
  • 精密医疗检测设备
性能简介

PMIN系列惯性电机是基于粘滑式驱动逻辑的一种直线运动定位装置,可以达到毫米级的运动行程和纳米级的定位精度,具有体积小、刚度高和快速定位等优势,电机内部集成高精度闭环传感器,非常适合用于纳米微位移控制系统。

机械尺寸图

技术参数
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PMIN-C24X-20A

PMIN-C24X-30A

PMIN-C24X-50A

PMIN-C24X-110A

单位

公差

运动轴

X

X

X

X

-

 

运动行程

20

30

50

110

mm

 

传感器

线性光栅尺

线性光栅尺

线性光栅尺

线性光栅尺

-

 

开环分辨率

1

1

1

1

nm

 

传感器分辨率

40

40

40

40

nm

 

传感器信号

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

AqB(细分盒输出)

-

 

最小位移量

-

-

-

-

nm

典型值

单向重复性

500

500

500

500

nm

典型值

双向重复性

800

1000

800

800

nm

典型值

俯仰角

50

50

50

50

arcsec

典型值

偏摆角

50

50

50

50

arcsec

典型值

闭环运动速度*

10

10

10

10

mm/s

最大值
机械性能

最大垂向负载

30

30

30

30

N

最大值

导轨类型

交叉滚柱导轨

 

 
驱动性能

电机类型

粘滑式惯性电机

 

 

驱动力

1.5

1.5

1.5

1.0

N

典型值

保持力

2.0

2.0

2.0

1.5

N

最小值

工作电压

0 - 70

0 - 70

0 - 70

0 - 70

V

 
其他

工作温度范围

0 - 50

0 - 50

0 - 50

0 - 50

°C

 

驱动频率范围

2k - 15k(推荐 5k - 7kHz)

kHz

 

材料

铝合金 / 不锈钢(可选型)

铝合金 / 不锈钢(底座默认不锈钢)

-

 

电缆长度

2

2

2

2

m

±0.02m

电机接口

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

Sub - D15 公头

 

 
外观尺寸
A 24 24 24 24 mm  
B 11.5 11.5 11.5 11.575 mm  
L 45 45 75 180 mm  

*PMIN-C24X-20A/ PMIN-C24X-30A/ PMIN-C24X-50A型号默认为不锈钢底座,
如有轻量化需求可更换铝合金版本-AL
-AL:铝合金底座
* 实际运动速度取决于驱控电路功率
* 最大垂向负载:30N 条件为负载质心处于电机中心位置
所有规格参数基于室温(22±3℃)环境。
使用注意事项:
1. 须在洁净的室内环境中使用该电机;
2. 须配套使用隐冠公司提供的驱控器。

定制信息

引脚定义
DB15 引脚定义说明

PIN

定义

1

Sin+

2

Sin-

3

Cos+

4

Cos-

5

Index+

6

Index-

7

/

8

HV-

9

GND

10

Vs

11

GND

12

Vs

13

/

14

/

15

HV+

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