上海隐冠半导体技术有限公司

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单片型/叠堆型压电陶瓷致动器
PAB 系列方形压电陶瓷叠堆致动器
主要特点

  • 驱动电压 -20~+150V
  • 2~100μm运动行程
  • 适用于高真空环境 10-6Pa
  • 亚纳米分辨率
  • 高居里温度 230℃

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主要应用
  • 科学研究
  • 精密光学调节设备
  • 工业自动化
  • 半导体设备
  • 精密运动控制
  • 精密检测设备
性能简介

叠堆型压电陶瓷致动器采用压电陶瓷片堆叠的结构形式,在电信号激励下实现多层陶瓷响应位移的叠加输出,具有亚毫秒级的响应时间,最大位移超过180μm。

机械尺寸图

闭环版本机械尺寸图
 

 

技术参数
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尺寸 A×B×H

位移*

刚度

阻滞力**

电容***

谐振频率

单位 mm×mm×mm μm N/μm N nF kHz
公差   ±15%   最大值 ±15% ±15%

PAB-S3-5

3×3×5

5

64

350

120

250

PAB-S3-9

3×3×9

9

38

350

250

150

PAB-S5-5

5×5×5

5

187

1000

350

250

PAB-S5-9

5×5×9

10

104

1000

680

140

PAB-S5-18

5×5×18

20

52

1000

1300

70

PAB-S5-20

5×5×20

20

43

1000

1600

60

PAB-S5-36

5×5×36

40

26

1000

2800

35

PAB-S5-45

5×5×45

50

21

1000

3800

27

PAB-S5-60

5×5×60

68

16

1000

5000

21

PAB-S5-72

5×5×72

80

13

1000

6000

17

PAB-S7-9

7×7×9

10

191

1960

1500

140

PAB-S7-18

7×7×18

20

86

1960

2700

70

PAB-S7-20

7×7×20

20

57

1960

3000

70

PAB-S7-36

7×7×36

40

48

1960

6000

34

PAB-S7M-36

7×7×36

40

48

1960

9500

35

PAB-S7-45

7×7×45

50

38

1960

9000

27

PAB-S7-54

7×7×54

60

32

1960

9500

23

PAB-S7-60

7×7×60

66

29

1960

11000

21

PAB-S7-72

7×7×72

75

24

1960

12000

18

PAB-S7-90

7×7×90

100

19

1960

16000

14

PAB-S10-18

10×10×18

20

185

3900

6000

70

PAB-S10-30

10×10×30

33

105

3900

10000

41

PAB-S10-36

10×10×36

40

85

3900

13000

34

截面尺寸公差为±0.1mm,长度尺寸常规公差在±0.1mm,特别需求可以定制±10µm 
可选配焊接标准线束,长度75mm,AWG32,PTFE绝缘,产品编号后加W 
*位移测试:驱动电压0~150V,公差±15%,另PAB-S7M-36驱动电压0~120V 
**阻滞力测试:在150V驱动电压下,将陶瓷伸长量压缩为零的力 
***电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±15%

其他规格可根据客户需求进行定制

闭环版本参数

 

PAB-S5-36W-S

PAB-S7-36W-S

PAB-S10-36W-S

单位

公差

运动轴

Z

Z

Z

 

 

驱动电压

-20~150

-20~150

-20~150

V

 

最大位移

40

40

40

μm

±15%

推力

1000

1960

3900

N

最大值

电容值

2.8

6

13

μF

±15%

谐振频率

34

34

34

kHz

±15%

应变片电阻

350

350

350

Ω

±3Ω

居里温度

230

230

230

 

表面电极

 

 

外观尺寸          

A

5

7

10

mm

±0.1mm

B

5

7

10

mm

±0.1mm

H

36

36

36

mm

±0.1mm

*位移测试:驱动电压0~150V、公差±15%
**推力测试:驱动电压0~150V
***电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±15% 

型号解读
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定制信息
  • 驱动电压:隐冠可以灵活地定制器件的最大驱动电压,我们提供的最大驱动电压常见可选范围为50V/75V/100V/120V/150V,其他特殊的最大驱动电压也可根据客户需求灵活定制。
  • 输出位移:输出位移主要取决于器件的长度,隐冠提供最大200μm的位移行程可选。
  • 工作频率:叠堆的长效工作频率取决于器件的谐振频率和驱动电压等因素,隐冠可以根据客户需求灵活设计,叠堆最高驱动频率可以达到30kHz。
  • 外形尺寸:方形叠堆型致动器外形尺寸可以灵活定制,长宽方面支持最小3mm定制,最大支持10mm定制;高度方向最小支持9mm定制,最大支持180mm定制。
  • 焊接线束:在满足AWG使用标准的情况下,可选配线束。线束长度常规为7.5cm镀锡线,线束长度和朝向也可根据客户需求灵活定制;为方便正负电极线的连接,在性能变化的误差内,可选择焊点位置。

 

性能图

闭环版本定制信息

截面尺寸公差为±0.1mm,长度尺寸常规公差在±0.1mm;特别需求可以定制±10μm;位移尺寸公差范围在±15%。

  • 焊接线束:在满足AWG使用标准的情况下,可选配线束。为方便正负电极线的连接,在性能变化的误差内,可选择焊点位置。
  • 形状尺寸:满足应变片电阻尺寸要求下,可提供的长宽尺寸有5*5mm、7*7mm和10*10mm,高度尺寸≥18mm。
  • 其他特别要求可根据客户要求进行定制。


性能图


 

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