上海隐冠半导体技术有限公司

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单片型/叠堆型压电陶瓷致动器
PANL 系列微步电机模组
PANL 系列微步电机模组
PANL 系列微步电机模组
主要特点

  • 纳米级步进精度
  • 重复精度高
  • 微秒级响应
  • 理论无限行程
  • 断电自锁

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主要应用
  • 半导体设备
  • 精密光学调节设备
  • 精密运动控制
  • 科学研究
  • 工业自动化
  • 精密检测设备
性能简介

微步电机陶瓷模组由多层压电陶瓷层(通过机械方式串联)以交错电极(电极间相互平行)的方式组成,其中包括了一定数量的压电陶瓷厚度片与压电陶瓷剪切片,能够在两轴输出位移。其通过厚度片抬高、剪切片前进,类似尺蠖昆虫的爬行方式来实现长行程。

机械尺寸图

 

技术参数
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PANL-R001-14-16H4Q

PANL-S06-22-5H7Q

PANL-S06-22-7H5Q

PANL-S06-22-12Q

运动轴

Z/X

Z/X

Z/X

Z/X

元件高度一致性

≤0.03mm

≤0.03mm

≤0.03mm

≤0.03mm

元件上顶面共面平面度

≤5μm

≤5μm

≤5μm

≤5μm

元件下底面平面度

≤5μm

≤5μm

≤5μm

≤5μm

元件上顶面与下底面平行度

≤10μm

≤10μm

≤10μm

≤10μm

剪切压电陶瓷驱动电压

-250V~+250V

-250V~+250V

-250V~+250V

-250V~+250V

纵向压电陶瓷驱动电压

-250V~+250V

-250V~+250V

-250V~+250V

-

剪切压电陶瓷位移(Y 向位移)

≥±2μm@±250V

≥±7μm@±250V

≥±5μm@±250V

≥±12μm@±250V

纵向压电陶瓷位移(Z 向位移)

≥3μm@500Vp-p(±250V)

≥0.9μm@500Vp-p(±250V)

≥1.5μm@500Vp-p(±250V)

-

剪切压电陶瓷最大输出力

≥±100N@±250V

≥±50N@±250V

≥±50N@±250V

≥±50N@±250V

纵向压电陶瓷最大输出力

≥2000N@+250V

≥700N@+250V

≥1000N@+250V

-

单个压电陶瓷腿纵向机械刚度

≥500N/μm

≥250N/μm

≥250N/μm

≥250N/μm

剪切压电陶瓷电容

≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz

≤45nF±15%@1Vp-p&1kHz

≤30nF±15%@1Vp-p&1kHz

≤90nF±15%@1Vp-p&1kHz

纵向压电陶瓷电容

≤150nF±15%@1Vp-p&1kHz

≤40nF±15%@1Vp-p&1kHz

≤60nF±15%@1Vp-p&1kHz

-

剪切压电陶瓷迟滞非线性 @500Vp-p

≤40%

≤40%

≤40%

≤40%

工作温度

-25°C ~ 130°C

-25°C ~ 130°C

-25°C ~ 130°C

-25°C ~ 130°C

居里温度

280°C

280°C

280°C

280°C

外形尺寸

L

33mm±0.1mm

13mm±0.1mm

13mm±0.1mm

13mm±0.1mm

W

10mm±0.1mm

13mm±0.1mm

13mm±0.1mm

13mm±0.1mm

H

15mm±0.005mm

8.7mm±0.005mm

8.7mm±0.005mm

8.7mm±0.005mm

*位移测试:驱动电压 -250~250V、公差±15%;
** 外形尺寸:标注尺寸为单侧陶瓷模组尺寸,不包括线路板;
*** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz,公差±15%。

型号解读
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定制信息
  • 驱动电压:隐冠可以灵活地定制器件的最大驱动电压,我们提供的最大驱动电压常见可选范围为50 ~ 250V,其他特殊的最大驱动电压也可根据客户需求灵活定制。
  • 位移定制:输出位移主要取决于器件的尺寸,隐冠提供多种剪切和厚度位移的组合,位移行程可选。
  • 工作频率:模组的驱动频率通常是250Hz,隐冠可通过结构设计灵活变更驱动频率,当模组需要在更高的驱动频率下工作时,则需要降低驱动电压,防止高频高压下器件发热和振动而导致模组损毁。
  • 外形定制:模组的长、宽、高可根据客户需求灵活定制。
  • 连接方式:在满足AWG使用标准的情况下,可选配线束或柔性线路板。线束长度和朝向、线路板的设计也可根据客户灵活定制。
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